最近本人遇到一個難題,也就是我們做PECVD經常要考慮的：SiN鈍化作用！
目前我們做出來的電池片，鍍膜以后少子壽命有明顯的下降，一直在尋找原因。
問各位能兄是否遇到相同的情況！或者提供相關的能夠提高少子壽命的工藝方案。
設備大家都知道，是板P和管P！