2.2 回收次數對切割質量的影響

從第二階段回收比例比例到第四階段回收比例調整過程中,第三階段回收比例的砂漿共回收35批次，第四階段回收比例的砂漿共回收37次，但隨著砂漿回收次數逐漸增多，硅片質量也出現波動 ，其中第三階段回收比例的砂漿使用到第35次時硅片表面出現嚴重鋸痕，原因是砂漿切割能力不足 ；第四階段回收比例的砂漿使用到第37次時清洗工序崩邊碎片率較高，原因是硅片表面鋸痕太深引起。

砂漿回收次數對切割質影響的分析



2.3 在線回收砂漿對線損的影響

對線鋸切割完的舊鋼線，取樣線進行檢測發現，使用不同回收比例的砂漿進行切割，鋼線平均直徑的磨損程度差異不大，但是橢圓度隨著砂漿回收比例的提高而增大；同時，隨著砂漿回收次數的增多，鋼線直徑的磨損程度和橢圓度也有所增大。由于鋼線線損過大、橢圓度過高會直接影響攜砂量，會因此會影響切割質量。

3 使用在線回收砂漿過程中存在的主要問題及調整措施

砂漿的質量直接影響硅片的切割質量，而使用在線回收設備回收的砂漿不可避免會存在質量波動，主要表現為砂漿中微粉含量偏高，切割能力不足，這將直接導致質量問題的產生，如硅片表面鋸痕或TTV值超差。對此，主要措施為調整在線回收設備的相關參數：調整流量值、差速或主頻、副頻值。

參考文獻

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