1 引言

砂漿在線回收工藝，是將廢砂漿經在線回收設備處理，將可重復使用的碳化硅顆粒和切割液回收再利用，操作方便，節約了廢砂漿儲存空間，且有效降低了成本。在此過程中無需添加任何化學成分，保證了砂漿的原有性質。但由于回收的碳化硅、切割液的質量和比例直接影響硅片切割質量，本文主要論述在線回收砂漿對切割質量的影響及調整措施。

2 在線回收砂漿切割質量分析

2.1 不同回收比例的砂漿切割質量分析

隨著砂漿回收比例的提升，砂漿的粒徑、圓度及微粉含量都會有所變化，從而影響砂漿的切割能力。



從使用在線回收設備，逐漸提高砂漿的回收比例，經過不同階段的配比情況，切割質量對比如下：



可以看出，使用第四階段回收比例的砂漿切割質量情況相對較穩定，各項指標較理想。